APPLICATION
液冷システムのマニホールドと清浄度管理
冷却液を分配・集約するマニホールドの役割と、微小汚染物を抑える設計・洗浄・組立管理を解説します。
マニホールドの役割
マニホールドは、ポンプからの総冷却液流量を各発熱部のコールドプレートへ均等に配分し、複雑な配管・継手を一体設計で置き換える部品です。
清浄度管理
粒子はチップの微細流路閉塞、油脂・生物増殖は流路閉塞・腐食、イオン汚染は電気化学的腐食の要因となります。対策として、設計時の洗浄性確保、高純度脱イオン水による洗浄、清浄な熱風または窒素による乾燥・封止、クリーンルームでの組立、ISO 16232などに基づく粒子・イオン汚染の確認を行います。